микроэлектромеханические системы

микроэлектромеханические системы

 

микроэлектромеханические системы
Технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков
[http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech_Eng-Rus.pdf]

микроэлектромеханические системы
Микроэлектромеханические системы, получаемые микрообработкой в кремнии; обычно встраиваются в интегральные схемы; обычно разделяются на две категории, микродатчиков и микроприводов; в зависимости от применяемого способа действия основаны на электромагнитных, термоупругих, пьезоэлектрических или пьезорезистивных эффектах.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • биотехнологии
  • полупроводниковые приборы

EN

  • MEMS
  • micro electromechanical system
  • micro-electromechanical system


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Нужно сделать НИР?

Смотреть что такое "микроэлектромеханические системы" в других словарях:


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»